1. Upotreba magnetrona za raspršivanje
Postoje tri tipa magnetronskog raspršivanja: radiofrekventno, srednjefrekventno i DC raspršivanje.
A. Gustina filma za taloženje je niska, a napajanje za DC raspršivanje je jeftino. Obično se domaće fototermalne i tankoslojne baterije odlučuju za korištenje ove tehnike jer zahtijeva malo energije i koristi provodljivi metal kao metu za raspršivanje.
B. Energija RF raspršivanja je prilično visoka. Kao meta za raspršivanje može se koristiti provodna ili neprovodna meta.
C. Metalna ili keramička meta se može koristiti kao meta za raspršivanje srednje frekvencije.
2. Klasifikacija i upotreba meta za raspršivanje
Mete za raspršivanje dolaze u različitim oblicima i veličinama i nisu sve kategorizirane na isti način. Mogu se kategorizirati u dugačke mete, kvadratne mete i okrugle mete na osnovu oblika, te na metalne mete, mete od legure i mete napravljene od keramičkih spojeva na osnovu sastava. Može se razdvojiti na keramičke mete povezane sa poluprovodnicima, keramičke mete za medije za snimanje, keramičke mete za displeje, itd. na osnovu različitih domena aplikacija. Elektronika i informacioni sektori, uključujući skladištenje informacija, su glavni korisnici meta za raspršivanje. Tvrdi diskovi, magnetne glave, optički diskovi i drugi srodni proizvodi od tankog filma kreiraju se u ovom poslu pomoću meta za raspršivanje.
Trenutno. Tržište za snimanje srednjih keramičkih meta bilježi porast potražnje zbog stalnog rasta informatičke industrije, a istraživanje i razvoj snimanja srednjeg cilja sada prima veliku pažnju medija.
