Koje vrste ciljnih materijala postoje – Prvi dio

Koji su ciljni materijali?

Cilj je zapravo širok pojam. Postoje tri načina za klasifikaciju ciljanih materijala:

1. Prema vanjskim dimenzijama, može se podijeliti na cilindrične, pravokutne, kvadratne pločaste mete i cijevne mete. Prema materijalu, ciljni materijali se mogu podijeliti na metalne mete, polimerne keramičke nemetalne mete i mete od legure, itd.;

2. Prema materijalu, ciljni materijali se mogu podijeliti na konvencionalne metalne mete, mete od plemenitih metala, mete od rijetkih zemnih metala, nemetalne mete, mete za raspršivanje legure, keramičke mete za raspršivanje itd.;

3. Prema području primjene, može se podijeliti na mete za poluvodiče, mete za displej panele, mete za solarne ćelije, mete za magnetno snimanje itd.

Klasifikacija prema obliku mete

Uobičajene mete su uglavnom četvrtaste i okrugle mete, koje su čvrste mete. U operaciji nanošenja premaza, magnetsko polje koje stvara kružni permanentni magnet na površini mete je prstenasto, doći će do neravnomjerne erozije, ujednačenost debljine raspršenog filma nije dobra, a efikasnost korištenja mete je samo oko 20 % do 30%. Cilj šuplje cijevi koji se trenutno promovira može se rotirati oko sklopa magneta sa fiksnom šipkom u određenom vremenskom periodu, a površina mete od 360 stupnjeva može biti ravnomjerno urezana, što ima očigledne prednosti i povećava stopu iskorištenja na 80%.

Klasifikacija prema ciljnom materijalu

Konvencionalne metalne mete: