Ciljni materijal ima širok spektar primjena, širok prozor razvoja tržišta i odlične primjene u brojnim disciplinama. Da bi se ubrzala ionizacija plina argona koji okružuje metu i poboljšala vjerovatnoća da će se meta i joni argona sudariti, gotovo svi moderni uređaji za raspršivanje koriste jake magnete da pokreću elektrone u spiralnom kretanju.
Povećajte stopu zastoja. Dok neprovodni keramički materijali obično koriste RF AC raspršivanje, metalni slojevi obično koriste DC raspršivanje. Osnovna ideja je da se argon (Ar) joni udare na metu pomoću užarenog pražnjenja u vakuumu. Kationi plazme će izbaciti materijal na površinu negativne elektrode dok se tamo ubrzavaju. Ciljni materijal će izletjeti nakon kontakta i taložiti se na podlogu stvarajući tanak film.
Općenito, primjena metode raspršivanja za oblaganje filmom ima sljedeće karakteristike:
(1) Filmska supstanca može biti napravljena od metala, legure ili izolatora.
(2) Višestruke i složene mete mogu se koristiti za stvaranje tankog filma istog sastava kada su prisutne odgovarajuće okolnosti.
(3) Ciljni materijal i molekule gasa mogu se mešati ili mešati uvođenjem kiseonika ili drugih aktivnih gasova u atmosferu za pražnjenje.
(4) Visoko precizna debljina filma može se lako dobiti kontrolom ulazne struje cilja i vremena raspršivanja.
(5) Pogodniji je za stvaranje uniformnih filmova velike površine u poređenju s drugim metodama.
(6) Lokacije mete i supstrata mogu se slobodno rasporediti, a na čestice prskanja u suštini gravitacija ne utiče.
