Termin "meta za raspršivanje" opisuje izvor raspršivanja koji se raspršuje i nanosi na podlogu magnetronskim raspršivanjem, višelučnim ionskim prevlačenjem ili drugim tipovima opreme za premazivanje pod odgovarajućim procesnim uslovima za stvaranje različitih funkcionalnih tankih filmova. koristi se u raznim industrijama, uključujući solarne ćelije, displeje s ravnim ekranom, poluvodiče, elektroniku s ravnim pločama, alate, staklo i dekorativne aplikacije. U različitim oblastima potrebni su različiti ciljni materijali.
Postavljanje goruće mete
Prema proceduri, priprema ciljnih materijala za raspršivanje može se podijeliti u dvije kategorije: metalurgija praha i livenje u rastopljenom stanju. Okolnosti pod kojima se materijal zagrijava tokom procesa termičke obrade, kao i naknadne tehnike obrade, moraju se pažljivo kontrolisati pored čistoće, gustine, veličine zrna i kristalne orijentacije materijala. kontrolu.
1.Obrada metala prahovima
Za uspješnu pripremu meta metalurgijom praha važno je: (1) odabrati prah visoke čistoće i ultra fini kao sirovinu; (2) odabrati tehnologiju formiranja i sinterovanja koja može postići brzo zgušnjavanje kako bi se osigurala niska poroznost cilja i kontrola veličine zrna; i (3) striktno pratiti unošenje elemenata nečistoće.
2. Pristup livenja topljenja
Jedna od osnovnih tehnika za stvaranje meta za raspršivanje je proces livenja topljenjem. Topljenje i livenje ingota se obično obavlja pod vakuumom ili zaštitnom atmosferom kako bi se osiguralo da je sadržaj elementa nečistoće što je moguće niži. Međutim, određena količina poroznosti unutar materijalni okvir je neizbežan tokom procesa livenja. Ove pore će uticati na kvalitet raspršenog filma jer će uzrokovati raspršivanje čestica tokom procesa raspršivanja. Da bi se smanjila njegova propusnost, potrebne su dodatne termičke obrade i procedure termičke obrade.
